Advanced microlithography technologies - 8-10 November 2004, Beijing, China
- Författare
- (Yangyuan Wang, Jun-en Yao, Christopher J. Progler, chairs/editors)
- Genre
- Konferenspublikation
- Språk
- Engelska
| Förlag | År | Ort | Om boken | ISBN |
|---|---|---|---|---|
| Cop. 2005 | USA | 380 sidor. | 0-8194-5600-4 |